鎂和鈰兩種金屬元素組成，具有很高的熱穩(wěn)定性和化學(xué)穩(wěn)定性，因此在制備薄膜時(shí)具有很好的性能，濺射一種常用的薄膜制備技術(shù)，它通過將靶材置于真空室中，利用高能粒子轟擊靶材表面，使其表面原子脫離并沉積在基底上，從而形成薄膜。鎂鈰合金濺射靶材在這個(gè)過程中起到至關(guān)重要的作用。